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특허실용신안 전이금속 디칼코게나이드 박막
2021.02.05 22:19
| IP 명칭 | 전이금속 디칼코게나이드 박막, 그 제조 방법 및 제조 장치 |
|---|---|
| 권리자 | 연세대학교 산학협력단 |
| 발명자 또는 창작자 | 조용수, 정예슬, 최홍제 |
| 출원번호 | 1020190058828 |
| 공개번호 | 1020200133508 |
| 등록번호 | |
| 출원일 | 2019.05.20 |
| 공개일 | 2020.11.30 |
| 등록일 | |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | 전자 정보 제어 기술, 벨리트로닉스 |
| 설명 및 특징 | 본 발명은 칼코겐 원소를 포함하는 칼코게나이드계 전구체와 전이금속 원소를 포함하는 전이금속 전구체를 준비하여 두 전구체를 공급하여 성장 촉진제의 존재하에서 제 1 기판 상에 전이금속 디칼코게나이드 박막을 형성하여 전이금속 원소와 칼코겐 원소의 화합물을 포함하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 제조 방법을 제공하는 것이다. |
| IP 핵심 키워드 | 전이금속/칼고겐 원소, 칼코게나이드계 전구체, 코팅액 |
| 종래 기술과의 차이점 | 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법은 Top-down 방식과 Bottom-up 방식이 있지만, 종래의 합성 방법은 균일한 대면적의 필름을 제작하는데 어려움을 가지고, 특히 전이금속의 균일한 증착이 어려워 기판에 균일하게 필름을 제작할 수 없었다. |
| 사업성 또는 시장성 | 전이금속 디칼코게나이드는 원자 세 층이 단일층을 이루며 탄소 원자 한 층으로 이루어진 그래핀(Graphene)과 유사한 판상 구조를 갖고 유연 및 투명 소자에의 활용성이 높아 나노 디바이스 분야에서 촉망받는 물질이다 |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 협의 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
전이금속 디칼코게나이드 박막의 제조 장치
