2020.09.17 20:24
| IP 명칭 | 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막, 이의 제조 방법 및 이의 제조 장치 |
|---|---|
| 권리자 | 연세대학교 산학협력단 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2017-0050600 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1952501 |
| 출원일 | 2017-04-19 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2019-02-20 |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 제 1 전이금속 박막 및 상기 제 1 전이금속 박막 상에 적층된 제 2 전이금속 박막을 포함하는 소스 박막에 대향하여 이격 배치된 타깃 기판의 피증착 표면에, 제 2 전이금속 박막으로부터 증발된 제 2 전이금속 가스를 칼코겐 함유 가스와 반응시켜 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막을 형성하고, 제 1 전이금속 박막으로부터 증발된 제 1 전이금속 가스를 칼코겐 함유 가스와 반응시켜 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막의 표면 상에 제 2 전이금속 칼코제나이드 박막을 형상함으로써, 소정의 기판 상에 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막을 대면적에 걸쳐 균일하고 얇게 형성할 수 있는 이점이 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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