2020.09.17 00:20
| IP 명칭 | 현미경 겸용 광 처리 장치 및 이를 이용하는 광 처리 방법 |
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| 권리자 | 연세대학교 산학협력단 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2017-0044874 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1965951 |
| 출원일 | 2017-04-06 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2019-03-29 |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 광 투영기 및 현미경 사이에 결합되고, 상기 광 투영기로부터 상기 현미경의 대물 렌즈부로 패턴 이미지에 대응하는 광 패턴을 전달하는 제 1 광 경로 및 상기 현미경에서 대물 렌즈부로부터 촬상부로 광 이미지를 전달하는 제 2 광 경로를 선택적으로 또는 동시에 제공하는 광 경로 스플리터를 포함함으로써, 현미경 겸용 광 처리 장치를 구성함으로써, 종래에 비해서 수율이 높고, 저가이며, 사용 또는 제작이 간편하게 마스크 없이 노광 공정을 수행하는 현미경 겸용 광 처리 장치가 제공될 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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