2020.09.03 20:11
| IP 명칭 | 유기 기상 증착 장치 |
|---|---|
| 권리자 | 주식회사 유니텍스 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2012-0053572 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1338931 |
| 출원일 | 2012-05-21 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2013-12-03 |
| IP 분야 | 기계 건축 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 기상 전구체를 포함하는 소스 가스 스트림에 인접하여 고속의 고속 가스 스트림을 분사하도록 노즐부를 구성함으로써, 상기 소스 가스 스트림의 경로 상에 저압이 발생하고, 압력차에 의해 상기 소스 가스 스트림의 유속이 증가되어 증착 속도를 증가시키고 생산성을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 실시예들은, 열적 평형 상태에서 박막이 증착되는 종래의 화학기상증착보다는 유체 흐름과 키네틱적인 소스 전달이 막 특성에 지배적인 영향을 미치는 응축(condensation) 기구에 의해 박막이 형성되는 기상 증착, 유기 기상 증착의 경우에 치밀한 박막과 우수한 성막 균일도를 제공할 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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