2020.09.12 01:19
| IP 명칭 | 이중 노즐을 갖는 분무 열분해 장치 |
|---|---|
| 권리자 | 주식회사 에이치앤이루자 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2015-0114221 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1839077 |
| 출원일 | 2015-08-13 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2018-03-09 |
| IP 분야 | 기계 건축 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 인라인 분무 열분해 박막 형성 장치는 기판의 이송 방향에 대하여 역방향으로 제 1전구체 스트림을 제공하는 제 1 노즐부 및 상기 기판의 이송방향에 대하여 순방향으로 제 2 전구체 스트림을 제공하는 제 2 노즐부가 설치되며, 상기 제 1 노즐부 및 상기 제 2 노즐부 사이에 상기 전구체 스트림이 제공되지 않는 성막 전이 영역이 정의되어, 상기 역방향 및 순방향의 스트림의 조합에 의해 박막 구조를 제어할 수 있고, 상기 성막 전이 영역에 의해 박막 형성의 균일성을 확보하거나 핵 또는 결정립의 성장을 도모할 수 있으며, 상기 제 2 전구체 스트림에 의한 성막 전에 여하의 중간 박막 구조를 형성함으로써 2 이상의 구조가 적층된 박막을 형성할 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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