판매 IP


산업 분야별 판매 가능한 IP입니다.


IP 명칭 반도체 소자의 제조 장치의 공정 모니터링 방법 및 이를 이용한 모니터링 시스템 
권리자 서울대학교산학협력단 
발명자 또는 창작자  
출원번호 10-2014-0104469 
공개번호  
등록번호 10-1735158 
출원일 2014-08-12 
공개일  
등록일 2017-05-04 
IP 분야 전자통신소자 
응용 분야 및 용도  
설명 및 특징 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 제조 장치 공정 진행 모니터링 방법은, 상기 제조 설비에 장착되어 있는 하나 이상의 센서들에 의해 발생되는 개별 신호들을 수신하여 기준 패턴 및 피분석 패턴을 생성하여 비교함으로써,
경시적 정보 또는 파라미터의 변화를 과장시키거나 누락시키지 않는 정확한 공정진행 모니터링을 통해 사용자의 공정 관리 및 제조 설비 운영 정책 결정 오류를 최소화하는 공정 진행 모니터링 방법을 제공할 수 있다. 
IP 핵심 키워드  
종래 기술과의 차이점  
사업성 또는 시장성  
IP 실현단계(TRL) 사업화 
IP 거래 형태 매입 
IP 거래 희망 시기 협의 
거래 희망 금액 협의 
IP 거래 조건 협의 

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