2020.09.03 20:22
| IP 명칭 | 소스 컨테이너 및 기상 증착용 반응로 |
|---|---|
| 권리자 | 주식회사 유니텍스 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2012-0073901 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1313877 |
| 출원일 | 2012-07-06 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2013-09-25 |
| IP 분야 | 기계 건축 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 용기 내부에서 소스 재료에 인접하도록 가열 부재를 배치하고, 소스 재료가 기화 및/또는 승화되는 기상 증착 공정 동안 소스 재료 또는 가열 부재가 상대적으로 접근하도록 이동시킴으로써, 동적 가열 방식을 채택하여 장시간 가열로 인한 소스 재료의 변성을 방지하고, 공정에 적합한 기상 전구체 가스를 안정적으로 공급하면서 열에너지의 낭비를 감소시켜 생산성을 증대시 킬 수 있는 소스 컨테이너 및 상기 이점을 갖는 기상 증착용 반응로가 제공될 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
-